Bei der Messunsicherheitsermittlung durch Simulation wird häufig auch die Oberflächenform berücksichtigt. Dafür wird der Einfluss ihrer Unterabtastung bei der Erfassung der Werkstückoberfläche ermittelt. Dies geschieht durch eine virtuelle Abtastung. Die Grundlage bildet ein an die Oberfläche angepasstes Modell. Es wird gezeigt, wie verschiedene Oberflächenmodelle erstellt werden können. Die Oberflächenmodelle basieren auf theoretischen Modellen der Oberflächenentstehung bei der Fertigung oder werden aus Tastschnittmessungen an repräsentativen Oberflächen abgeleitet. In diesen Oberflächenmodellen werden die bei der Antastung entstehenden Effekte (Abplattung, Filterwirkung des Tastelementes) berücksichtigt. Die so an die Messparameter angepassten Modelle können bei der Messunsicherheitsermittlung mit dem virtuellen Koordinatenmessgerät (‚VCMM‘) verwendet werden.